PB 8-2P-CP

硬件 

洁净室相容性:10级

箱体清洁度：1级 

晶圆尺寸：最大200mm 

容量：每批最多可容纳50个8英寸晶圆（两个25个晶圆盒） 

工作温度：环境温度450°C 

氮气流量：1 SCFM 

耗氮量：15-25升/分钟。 

内腔尺寸：36.62厘米（内径）x 66.52厘米（深）—（14.42“ x 26.19”） 

腔室处理面积：23.95厘米（宽）x45.97厘米（深）x24.69厘米（高）—（9.43“ x 18.10”x 9.72“） 

系统整体尺寸：68.96厘米（宽）x145.92厘米（深）x 77.87厘米（高）—（27.15“ x 57.45”x 30.64“） 

控制台尺寸：59.44厘米（宽）x 96.01厘米（深）x 23.62厘米（高）—（23.4“ x 37.8”x 9.3“） 

箱体材质：316L不锈钢 

工艺气体输入：1个标准，最多3个可选 

质量流量控制器：可选–最多3个用于气体混合 

层流过滤器：100微米Mott™板式过滤器 

清洁度：减少大多数应用中的颗粒 

软件 

配方数：8种温度曲线 

每个配方的步数：16个程序步 

分段时间范围：0-99小时 

定时器设定分辨率：1分钟 

性能 

温度均匀性：所有温度点稳定15分钟后，在保压期间保持±5°C 平均升温速度（150°C-450°C）：5°C / min。空箱负荷 

平均冷却速度（450°C-150°C）：4°C / min。空箱负荷 

氧气浓度：本底超过10 ppm 

配件 

电源要求：208V，40 A，50/60 Hz，3相 

重量（约）：575磅（261公斤）

PB 12-2P-CP

硬件 

洁净室相容性：Class 10 

箱体清洁度：1级 

晶圆尺寸：最大300mm 

容量：每批最多可容纳50个12英寸晶圆（两个25个晶圆盒） 

工作温度：环境温度450°C 

氮气流量：1 SCFM 

耗氮量：15-25升/分钟。 

内部腔室尺寸：54.34厘米（内径）x 104.06厘米（深）—（21“ x 40.97”） 

腔室处理面积：37.592厘米（宽）x56.64厘米（深）x36.07厘米（高）—（14.8“ x22.3”x 14.2“） 

系统整体尺寸：84.48厘米（宽）x174.57厘米（深）x138.7厘米（高）—（35.23“ x 68.73” x 54.61“） 

控制台尺寸：59.44厘米（宽）x96.01厘米（深）x23.62厘米（高）—（23.4“ x 37.8”x 9.3“） 

箱体材质：316L不锈钢 

工艺气体输入：1个标准，最多3个可选 

质量流量控制器：可选–最多3个用于气体混合 

层流过滤器：100微米Mott™板式过滤器 

清洁度：减少大多数应用中的颗粒 

软件 

配方数：8种温度曲线 

每个配方的步数：16个程序步 

分段时间范围：0-99小时 

定时器设定分辨率：1分钟 

性能 

温度均匀度：所有温度点稳定15分钟后，在保压期间保持±7°C 

平均升温速度（150°C-450°C）：3.5°C / min。空箱负荷 

平均冷却速度（450°C-150°C）：3.0°C / min。空箱负荷 

氧气浓度：本底超过10 ppm 

配件 

电源要求：208V，40 A，50/60 Hz，3相 

重量（约）：894磅（406公斤）