可有效去除工作表面上的有机污染物，也可用于表面改性。“易于使用”，具有简单的结构，适用于各种等离子工艺，如清洁，增强亲水性和粘合性， 使表面疏水等。
腔体尺寸：W200xD200xH160mm
电源：200w,20-100kHz
外部尺寸：W618xD630xH460mm
7英寸PC屏进行手动或自动控制
应用于表面修复系统。
HGT 2K-DIV搅拌去泡机
YES-EcoCoat
COVANCE-等离子表面处理系统
台式涂装系统
SPIN150i旋涂仪
NX-2600-全晶圆片
NX-B100/200-纳米压印
SPS 精密烤盘 HL200S
