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旋涂仪

LEBO EZ6旋涂仪

小巧灵活,应用广泛,可直接至于手套箱中使用。
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产品概述

其他:

1、包括三个真空旋转卡盘
2、耐用的设计以及耐化学腐蚀的材料
3、耐化学腐蚀HDPE旋转碗
4、耐用的不锈钢机身,具有耐化学腐蚀的透明旋转盖
5、4.3”触摸屏界面
6、基板尺寸:从1厘米到6英寸晶圆
7、转速范围:100-12000 RPM
8、转速分辨率:1RPM
9、加速范围:空载100-30000 RPM / s
10、安全:真空联锁和旋转盖联锁

技术参数

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应用领域

广泛应用于高校研究所及工业研究。

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