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Nanonex纳米压印

NX-B100/200-纳米压印

多功能整片基板纳米压印系统
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产品概述

NX-B100/B200整片基板纳米压印系统经过了大量的实时实地验证,质量可靠,性能优越稳定。具备全部压印模式:热固化、紫外固化和压印。基于独特专利保护的Nanonex气垫软压技术(ACP),不论模版或基板背面粗糙程 度如何,或是模版或基板表面波浪和弧形结构,NX-B100/B200均可对其校 正补偿从而获得无与伦比的压印均匀性, ACP消除了基板与模版之间侧向偏移,有效地延长了模版使用寿命。通过微小热容设计可获得快速的热压印周 期,最终得到快速的工艺循环,适用于小于4英寸的晶圆片。

所有形式的纳米压印
 热塑化
 紫外固化 (NX-B200)
 热压与紫外压印同时进行(NX-B200)
 热固化
气垫软压技术(ACP)
 Nanonex专利技术
 完美的整片基板纳米压印均匀性
 高通量
低于10nm分辨率
快速工艺循环时间(小于60秒) 灵活性
 最大75毫米直径压印面积  各种尺寸及不规则形状模
板与基板均可压印
方便用户操作
基于超过12年、15代产品开发 经验的自动化压印操作
Nanonex压印系统经过大量实 时实地验证,质量可靠,性 能优越稳定
全自动纳米压印

技术参数

热塑压印模块(NX-B100/B200)
● 温度范围0~250℃
● 加热速度>200℃/分钟
● 制冷速度>60℃/分钟
● 压力范围0 ~ 3.45 MPa(500 psi)
紫外固化模块(NX-B200)
● 58mW/cm2紫外LED光源
● 365纳米或395纳米波长可选
● 全自动化控制

模版装载功能
● 最大3″模板可用于标配纳米压印系统
基板装载
● 标配纳米压印系统可装载3″基板
● 各种尺寸及不规则形状模板与基板均可压印
● 独特专利保护ACP技术可最大限度保护模板和基板,特别对 于象磷化铟(InP)等极易碎模板和基板给予最大限度。

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应用领域

 

纳米电子和光电子、显示器、数据存储介质、先进材料、 生物科技、纳米流道等

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