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PE / RIE（反应离子蚀刻）模式真空室
Femto Science 真空室技术
PE / RIE（反应离子蚀刻）模式真空室
在真空室内的任何位置都能保持均匀的气流
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腔室的结构根据气流的方向分为水平型和垂直型。
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