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Femto Science 台式真空等离子处理系统

Wide Flux 400 大气等离子处理系统

•与真空系统相比,具有更高的处理量和相对简单的配置 •比真空系统消耗更多的气体来补偿其快速的处理速度 •主要用于用氩气、氧气或氮气进行表面清洁、活化、蚀刻
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产品概述

等离子头
•等离子类型:直接等离子
•有效覆盖范围:150mm(宽度)
•冷却:水冷
•机身材质:5083系列铝合金
样板
•尺寸:450mm x 450mm
•最大样品高度:< 3mm
发电机
•频率:(射频)13.56MHz
•功率:最大600W
•自动阻抗匹配
•过程监控
气流模块
•气体管路:×2 通道(Ar、O 2)
•气体流量控制:高重复性MFC
•MFC 流量:30 slm (Ar) / 100 sccm (O 2 )
控制器
•自动/手动操作
•交互式集成软件
•7” 触摸屏电脑
•保存工艺配方
•实时过程图和错误监控

技术参数

•样板尺寸:450mm x 450mm
•等离子:DBD
•气体:O2 100sccm, Ar 30slm
•等离子发生器:RF, 13.56 MHz / 高达 300W
•控制器:通过 7 寸触摸 PC 进行自动和手动控制
•选项: X、Y、Z 机器控制

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