YES–G1000对于清洁,剥离和表面改性,等离子体是有毒化学物质的有效替代品,并且在表面上没有残留溶剂。 副产物是惰性的并且对环境安全。 G1000的工作频率为13.56MHz,用户可以从5种等离子模式中进行选择。 各向异性模式包括RIE和有源离子阱; 各向同性模式包括下游(无电子),有源和下游离子阱。
•13.56 MHz的射频等离子体 •低压环境 •下游侵蚀性等离子体 •温度监控器 •3个气体输入 •气体输入可包含更多深奥气 体,例如合成气,CF4和SF6