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大气等离子体系统
Wide Flux 400 大气等离子处理系统
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产品概述
•与真空系统相比，具有更高的处理量和相对简单的配置
•比真空系统消耗更多的气体来补偿其快速的处理速度
•主要用于用氩气、氧气或氮气进行表面清洁、活化、蚀刻
技术参数
等离子头
•等离子类型：直接等离子
•有效覆盖范围：150mm（宽度）
•冷却：水冷
•机身材质：5083系列铝合金
样板
•尺寸：180mm x 180mm
•最大样品高度：< 3mm
发电机
•频率：（射频）13.56MHz
•功率：最大300W
•自动阻抗匹配
•过程监控
气流模块
•气路：×2通道（Ar、O2）
•气体流量控制：高重复性MFC
•MFC 流量：30 slm (Ar) / 100 sccm (O2 )
控制器
•自动/手动操作
•交互式集成软件
•7” 触摸屏电脑
•保存工艺配方
•实时过程图和错误监控
定制
•机器人控制
•卷对卷系统
产品视频
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