中国/China
新加坡/Singapore
马来西亚/Malaysia
印度尼西亚/Indonesia
产品概述
1.液体流量可调，回吸可调
2.外壳喷塑，耐腐蚀、易清洗
3.真空压力可调，压力值实时显示
4.内置真空过滤器，防止液体吸入真空泵
5.全封闭式显影，避免雾气扩散到外部，污染环境
6.内腔不锈钢材质，镜面抛光处理，光滑、耐腐蚀、易清洗
技术参数
1.最大支持wafer尺寸:碎片至200mm(8寸晶圆）
2.转速分辨率:±1 RPM
3.旋涂速度:20-3000rpm(空载)
4.旋涂加速度:20-10000rpm/sec(空载)
5.工艺时间设定:0-3000sec/step
6.时间设置精度:0.1sec
7.单步工艺及多步工艺可选，内置100组可编辑程序
8.适用于标准3路显影机(1路显影液，1路纯水，1路氨气)
9.可以根据客户需求定制四管路显影机或更大基片的显影机
产品视频
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