POLOS® SPIN150x 提供精确且可重复的工艺控制。它采用天然聚丙烯(NPP)或耐化学腐蚀的聚四氟乙烯(PTFE)制成，适用于所有典型的旋涂工艺。这款经过充分验证的型号的新版本有标准型和高级型两种版本可供选择。它非常适合处理直径达150mm的各种基底或尺寸为 100 x100 mm的方形样品。

独特设计

其独特的に外壳和排水设计便于实现从台式到舱内型号的转换。模块化设计使用户能够通过多种不同的配件对设备进行升级，从而简化分配和整体操作流程

电机回零位置

全新的 SPINx系列能够定义电机回零位置，便于在机器人控制或自动化环境中进行集成。

易于操作腔室

真空卡盘位于碗边缘上方，方便使用末端执行器、镊子或真空棒轻松操作品圆/基底。这是实现机器人操作的一项独特要求。

硬件规格

• 为保障用户安全，配备盖子锁和真空传感器

• 间接式无刷驱动单元 --最高可达 12,000 转/分钟

• 高加速度与精度:1-30.000 转/分钟

• 可编程的电机回零位置

• 用于注射器或点胶喷嘴的中心注射支架

  
  

液体过滤阱

• 大尺寸(可拆卸)触摸屏显示器

• USB 端口，可用于在 USB 驱动器上存储工艺流程，以及进行软件更新、设置驱动单元参数·可顺时针/逆时针旋转，具备 puddle 模式

• 选配件:自动盖子和/或自动点胶臂(仅高级版本适用)

• 自动盖子(仅高级版本适用)

• 盖子可通过用户操作界面自动开启和关闭，也可借助瞿怒的叢落适金，奄德雷界启，此外也能够自动开启盖子。

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液体过滤阱

SPINX系列配备了液体过滤阱，用于保护旋涂机的关键部件。它可将通过工艺腔室或真空卡盘进入真空管路的任何液体或光刻胶截留在液体容器中。

适用工艺

•涂覆•清洗•冲洗/干燥•显影•蚀刻•聚二甲基硅氧烷(PDMS)