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旋涂仪
EZ4-S小巧型匀胶机
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产品概述
1.工业级BLDC电机与单片机控制
2.7寸全彩触摸屏人机界面操作
3.超高分子材料内腔，不锈钢外壳
4.特殊设计的防进胶、防堵胶功能
5.可升级一路精确计量自动点胶功能
6.带真空开关和盖子开关安全互锁功能
7.最大推荐旋涂底物尺寸:6寸圆形底物
技术参数
1.转速范围:100-12000rpm
2.转速分辨率:1rpm
3.加速度可调范围:100-30000rpm/s
4.最大单步步长:3000s
5.时间分辨率:0.1s
6.重量:12Kg
7.单步或多步运行可选，可编程10组10步程序
8.AC110V和AC220V两款可选，中英文界面可选
9.标配10mm、25mm、2英寸三种直径规格真空载物盘
4寸晶圆 片内±0.53% 片间±1.09% 膜厚:1350nm 胶液:AZ1500(20CP)
6寸晶圆 片内±1.20% 片间±1.89% 膜厚:4400nm 胶液:SPR220-4.5(123CP)
产品视频
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