汽化器

•单块铝（未焊接，最小化泄漏）
•加热器：最大。200℃
•用于热阻的门加热器：最大。200℃
•蒸发温度 设置：最多 10 步（温度和时间）

热解器

•管材：石英（或铬镍铁合金作为替代品）
•热解器加热器：最大。800℃
•3 x 分区（独立）加热器
•温度传感器：2线K型传感器x 3ea（每个加热器每个传感器）

沉积室

•腔室尺寸：ID 950 mm × L. 1,200 mm
•样品加载板
•旋转进给

样品夹具

•最大装载样品数量：50ea
•可用负载 Max. 样品尺寸：12英寸
•夹具类型：多层铝架式
•程序转速

冷阱

•温度范围：–80℃～RT。(±2～3℃)

控制器

•DSP板载信号控制器
•自动/手动操作
•交互式集成软件
•10.2 英寸触摸屏 PC 和 USB 数据传输
•保存和加载工艺配方
•实时过程图和错误监控