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汽化器
•单块铝(未焊接,最小化泄漏)
•加热器:最大。200℃
•用于热阻的门加热器:最大。200℃
•蒸发温度 设置:最多 10 步(温度和时间)
热解器
•管材:石英(或铬镍铁合金作为替代品)
•热解器加热器:最大。800℃
•3 x 分区(独立)加热器
•温度传感器:2线K型传感器x 3ea(每个加热器每个传感器)
沉积室
•单块铝(未焊接,最小化泄漏)
•均匀气流设计(专利号 10-1701381)
•腔室尺寸:ID 200 mm × L. 420 mm
•样品加载板
•旋转进给
冷阱
•捕集方法:直接捕集器、玻璃冷凝器
•最低温度:– 80℃
•环境温度:5~30℃
控制器
•DSP板载信号控制器
•自动/手动操作
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