1.最大曝光面积:160mm*160mm

2.曝光分辨率:1μm(胶厚<0.5um的正胶)

3.对准精度:±1um(标准晶圆抛光片)

4.光源强度:35mW/cm2

5.曝光波长:LED光源(进口灯珠，寿命>1万小时)

6.曝光方式:定时(倒计时方式)

7.掩模样片相对运动范围:X:优于±5mm;

8.Y:优于±5mm;0:优于±69

9.掩模尺寸:7英寸，样片规格:6英寸(晶圆片)

10.数字设定对准间隙和曝光间隙

11.掩模样片分离间隙:6 =0-500um连续可调

12.对准方式:自动对准，可根据客户需求，增加对准标记的类型，累计不超过4组

13.自动输片:机械手自动输片(专用样片机械手臂及片叉),含预对准定位功能

14.显微扫描范围:Y:±40mm(数字设定）

15.具备正压气浮曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能CCD+远心镜头+显示器对准，光学合像

16.调平接触压力通过传感器保证重复

17.双物镜可调距离范围:30mm-130mm