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超精密点胶设备 EP600-FD
超精密点胶设备 EP600-FD
超精密点胶设备 EP600-FD
超精密点胶设备 EP600-FD

产品概述

采用气动直写技术,结合自研点胶打印头模组,实现环氧胶、硅胶、UV胶等精密点胶。点胶过程可自动化控制,提高精度,减少溢流,适用于微量点胶场景设备优势

  • 支持载板、晶圆产品点胶

  • 支持CAD图形导入加工

  • 自研可调式阵列点胶模组

  • 自研倾斜旋转点胶模组

  • 配备原位UV 固化模块

  • 支持最大12寸加工幅面


技术参数
  1. 定位精度:X/Y轴可达士2 um、Z轴可达土5 um


  2. 最小单点胶量:<lug


  3. 胶量波动:<10%


  4. <±15 μm胶点位置精度:


  5. 加工幅面:最大支持300 mm*300 mm加工幅


  6. 多喷嘴点胶:点胶效率可达75000 dot/h


  7. 支持材料:环氧胶、UV胶、硅胶等多种胶水


  8. 加工幅面:可选8寸、12寸加工幅面

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