中国/China
新加坡/Singapore
马来西亚/Malaysia
印度尼西亚/Indonesia
等离子体表面处理系统
PT13M-BE等离子清洗机
查看更多
当前位置：首页 > 产品中心 > 材料与纳米科学 > 等离子体表面处理系统 > CUTE-等离子表面处理系统
产品概述
CUTE系列等离子清洗机来自韩国Femto Science公司，是一款无损伤的等离子体处理表面处理系统，其设计保证了高度稳定和均匀辉光放电等离子体产生，可应用于微流控、组织工程、石墨烯、2D材料等纳米科学以及微电子领域，适用于诸多材料表面清洁、疏水性增强、层间粘附、刻蚀等操作，标配一路自动气体流量计，可实现对工艺气体的控制。
CUTE系列等离子清洗机，其舱体采用铝合金制作，坚固耐用且抗腐蚀，其舱体自带显示屏，配合显示屏下方的操作按钮，使用简单，方便快捷。
技术参数
腔室
模式：带有单电极的PE（等离子体蚀刻）模式
尺寸：140×200×110（W×D×H，毫米）
单块铝（未焊接，最小化气体泄漏）
统一气流设计（第10-1697205号专利）
气流模块
气通道的最大数量：×3线
气流控制：高可重复性MFC
吹扫线：×1 ea
通风线：×1 EA
MFC流速：最大100 SCCM（1 SCCM增量）
仪表压力：atm〜5 x 10 -4托尔
尺寸
主系统：440×500×560（W×D×H，mm）
真空泵：460×160×250（W×D×H，mm）
产品视频
没有数据
