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等离子体表面处理系统
VITA 12立式反应离子蚀刻真空等离子处理系统
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产品概述
1.可处理形状复杂的材料
2.无环境污染、无化学品消耗
3.低温等离子体，能量低、密度高，适合处理特殊材料
4.满足8寸以下基片使用，一键式操控，适用于科研院所等各种实验环境
技术参数
1.射频电源:13.56MHZ
2.射频功率:0-200W(最大300W)
3.匹配器:自动匹配
4.气体控制:单浮子流量计
5.舱体尺寸:226mm*126mm*224mm
6.舱体材质:铝合金
7.舱体容积:6.4L
8.有效处理尺寸:L200xW200
9.时间设定:999秒
10.真空泵:抽速4m3/h11.气体稳定时间:40秒12.真空度:<10pa
产品视频
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