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等离子体表面处理系统
CUTE-等离子表面处理系统
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产品概述
1.满足8寸以下基片使用，适用性广
2.高效清洗，快速达成需要的表面亲水性
3.应用广泛，且对处理产品无损伤，不改变材料特性
4.无环境污染、无化学品消耗、机台本身不产生污染物
技术参数
1.射频电源:40KHZ
2.射频功率:0-1000W
3.匹配器:自动匹配
4.气体控制:双浮子流量计
5.舱体尺寸:226mm*126mm*224mm
6.舱体材质:铝合金
7.舱体容积:6.4L
8.有效处理尺寸:L200xW200
9.时间设定:300秒
10.真空泵:抽速4m3/h11.气体稳定时间:30秒12.真空度:<10pa
产品视频
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