中国/China
新加坡/Singapore
马来西亚/Malaysia
印度尼西亚/Indonesia
等离子体表面处理系统
VITA 12立式反应离子蚀刻真空等离子处理系统
查看更多
当前位置：首页 > 产品中心 > 材料与纳米科学 > 等离子体表面处理系统 > COVANCE-等离子表面处理系统
产品概述
桌面 - 真空等离子体系统
可有效去除工作表面上的有机污染物，也可用于表面改性。“易于使用”，具有简单的结构，适用于各种等离子工艺，如清洁，增强亲水性和粘合性， 使表面疏水等。
技术参数
腔室
l 模式：带有单电极的PE（等离子体蚀刻）模式
l 尺寸：200×220×160（W×D×H，毫米）
l 单块铝（未焊接，最小化气体泄漏）
l 统一气流设计（第10-1697205号专利）
发电机
l 频率：20〜100kHz（10kHz增量）
l 力量：最大。 200W（以1W增量可调节）
l （选择）最大的RF（13.56MHz）。 300W
l 自动阻抗匹配
l 过程监控和控制
l 仪表压力：atm〜5 x 10 -4托尔
气流模块
l 最大气通道数：×4线
l 气流控制：高可重复性MFC
l 吹扫线：×1 ea
l 通风线：×1 EA
l MFC流速：最大200 SCCM（1 SCCM增量）
系统维度
l 主系统：510×525×640（W×D×H，mm）
l 真空泵：480×160×250（w×d×h，mm）
产品视频
没有数据
