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等离子体表面处理系统
PT13M-BE等离子清洗机
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产品概述
•表面清洁、活化、蚀刻 •等离子涂层
技术参数
工艺室
•双模式：PE（等离子蚀刻）和 RIE（反应离子蚀刻）模式，双电极
•尺寸：250×300×200（W×D×H，mm）
•单块铝（未焊接，最小化气体泄漏）
•均匀气流设计（专利号 10-1697205）
发电机
•频率 : 20~100kHz (10kHz 增量)
•功率：最大300W（1W增量）
•(选项) RF(13.56MHz) 最大。300W
•自动阻抗匹配
•过程监控
气流模块
•最大气体通道数：×4行
•气体流量控制：高重复性MFC
•吹扫线：×1 ea
•排气管 : × 1 ea
•MFC 流量 : Max.200 sccm (1 sccm 增量)
控制器
•DSP板载信号控制器
•自动/手动操作
•交互式集成软件
•7” 触摸屏 PC 和 USB 数据传输
•保存和加载工艺配方
•过程图和报警日志加载
产品视频
没有数据
